ГОСТ 21815.18-90 Преобразователи электронно-оптические. Метод измерения пространственной частотно-контрастной характеристики

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ

МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ЧАСТОТНО-КОНТРАСТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ

ГОСТ 21815.18—90

Издание официальное

45 коп. БЗ 12—90/W

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО УПРАВЛЕНИЮ КАЧЕСТВОМ ПРОДУКЦИИ И СТАНДАРТАМ

Москва

УДК 621.363.8.083:006ЛИ Группа 329

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЭЛЕКТРОН НО ОПТИЧЕСКИЕ

Метод, измерения пространственное частогно-конграстной характеристики Image inh-nsiiiei ап<! image converter tubes.

Modulation transfer function

ГОСТ

218.15.18—90

OKU 63

Дата введения 01.01.93

Настоящий стандарт устанавливает метод намерения пространственной частотно-контрастной характеристики (далее — ЧКХ) электронно-оптических преобразователен (далее — ЭОП), предназначенных для применение и приборах видения.

Общие требования к проведению измерений и требования безопасности — по ГОСТ 21815.0, требования к источникам напряжения приемника излучения— по ГОСТ 11612.0.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения приведены в приложении I настоящего стандарта, в ГОСТ 16263 и ГОСТ 19803.

Требования настоящего стандарта являются обязательными.

I. ПРИНЦИП ИЗМЕРЕНИЯ

1.1. Принцип измерения пространственной ЧКХ заключается в измерении коэффициента передачи контраста (далее — КПК) 7\ для ряда пространственных частот Л\, приведенных к плоскости фотокатода испытуемого изделия, в диапазоне, который указывается в стандартах или технических условиях на ЭОП. конкретного типа.

1.2. Метод основан на гармоническом анализе функции рассеяния линии анализирующим растром с последующей регнетра-

(A<,«—Я_т|п\ _

Т~~+Аой<»/ ’ нр^Л^^^^н^нА^н отношение амплитуды переменной составляющей распределения к среднему значению, т. е. к постоянной составляющем. Во время измерения значения постоянной составляющей должны быть кеиз-Изданнс официальное

@ Издательство стандартов, 1991 Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведем, тиражирован и распространен бет разрешения Госстандарта СССР

2 Зак. 462

Q 2 ГОСТ 21815.18—90

менны, тогда измеренные амплитуды будут пропорциональны КПК, а КПК для каждого значения пространственной частоты Л\ , приведенной к фотокатоду ЭОП, вычисляют по формуле

Ш

7\ — Айй^аЯЕ R AftUX тлmin

где Л_па —максимальное значение полезного сигнала;

Л„,_п — минимальное значение полезного сигнала.

П? нмечзвкя:

S. Гармошчссмнй анализ позволяет использовать:

сканирование изображения щели рае гром переменной: плотности тин переменной площади с синусоидальным заходом пропускания в направлении сканирования;

сканировании! изображения щели растром с прямоугольной формой волны с последующим выделением основной гармоники сигнала путем электртжмоЯ фильтрация;

скан врывание изображения полуплоскости узкой щелью с представлением результатер в вде ЧКХ.

Все указанные методы должны удовлетворять требованиям во погрешности измерений, указанным и настоящем ставдарте.

2. Допускается сканирование растром с прямоугольной: формой волны без выделения основной гармоники сигнала. В этом случае произведенные взме-рения следует квалифицировать. как определение КПк по растру с прямоугольной формой волны (T_v с указан нем в стандартах иля технических условиях на ЭОП конкретного тлла).

2. ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА

2.1. Для измерения КПК ЭОП следует применять измерительные приборы и вспомогательные устройства, входящие и установку, в соответствии с черт. 1.

Г — ОСМТЗПаяь; 1 — диафрагма со Щелью; J — входная остина (микрообмактмв а обратном ходе); 4 — ЭОП; а — держатель ЭОП;

6 — ныхадвой михрообаектив: Г — амхоаноЛ spa vox мимрообъек-г ива, доз, б; » - аволн^рухтиЯ рвСТр; ? - ВМИКТИ»; fV — ври-емняк излучения, it — регвегрирующее устройство; ri — микро.

скоп; ФК — фстокатод; Э — мерам; Л — анаанаирующиЯ блок

Черт. I

ГОСТ 21813.18—90 С. 3

2.2. Осветитель с нормируемым по ГОСТ 21815.0 спектральным составом должен обеспечивать равномерную яркость (неравномерность не более ±1 %) рабочей мели к совместно с входной оптикой создавать предельно допустимую освещенность в плоскости входа ЭОН, допускаемую стандартом или техническими условиями на ЭОП конкретного типа.

Максимальная погрешность установления освещенности: не должна превышать 15% закон распределения нормальный.

Примечание. Допускается: применение осветителя с нтилринроламныи спектральных составом и «учении. При этой в эксплуатационной документации на осветитель должка быть приведена методика определения указанной осве-шеижж-гн с Лоереншостью» не превышающей значений л. 2.2.

2.3. Диафрагма со щелью должна быть установлена на оптической оси установки в плоскости предмета входного объектива, и удовлетворять требованиям, изложенным в приложении 2.

2.4. Типы входного и выходного микро объективов, их апертуры и увеличение указывают в стандартах или технических условиях на конкретные типы ЭОП.

2.5. Держатель ЭОП должен обеспечивать надежное крепление ЭОП и обеспечивать возможность измерения ЧКХ в точках фотокатода испытуемого ЭОП. заданных в стандарте или о технических условиях.

2.6. Диализирующий растр должен быть установлен в плоскости изображения выходного- объектива- Контраст растра должен быть абсолютным, т. е. равен 1. Светолропусканкс растра допускается с синусоидальной и прямоугольной формой волны. Высота растра не должна превышать изображение щели а его плоскости. Остальные требования — в приложении 3.

2.7 Коллектив располагается на оптической оси выходного мнкрообъектива и должен проектировать выходной зрачок микрообъектива в плоскость светочувствительной площадки приемника излучениям Геометрические размеры должны удовлетворять требованиям приложения 3.

2.8. Регистрирующее устройство должно обеспечивать удобную индикацию электрических сигналов (амплитудные значения), при необходимости, с последующим усилением и дополнительной электронной обработкой. Средняя квадратическая случайная погрешность регистрирующего устройства не должка превышать 2 %, доверительная вероятность Р —0,95, закон распределения — нормальный.

2.9. Выбор элементов схемы (микрообъективов, приемников излучения, регистрирующего устройства) проводят согласно приложению 3, ГОСТ 21815.0 и приложению 4 настоящего стандарта.

С. 4 ГОСТ 2 ISI 5.18—90

3. ПОДГОТОВКА И ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

3.1. Испытуемый ЭОП устанавливают в держателе в положении, указанном в документации на данный тип ЭОП, соединяют с источником питания (участок фото-катода для измерения ЧКХ указывается в ТУ на ЭОП).

3 2. На ЭОП подают номинальное напряжение, указанное в стандартах или технических условиях на ЭОП конкретного типа.

3.3. Лампе накаливания залают режим, соответствующий источнику света с цветовой температурой 2856 К по ГОСТ 7721.

3.4. С помощью осветителя обеспечивают яркость щели млн освещенность ее изображения на фогокатюде, не превышающую максимальной рабочей освещенности Ещи» для ЭОП конкретного типа {в соответствии с ТУ).

3.5. Наблюдая в микроскоп, находящийся на оптической оси выходного объектива и сфокусированный на растр, производят необходимые предварительные фокусировки:

изображения щели на входе ЭОП;

изображения щели с выхода ЭОП в плоскость анализирующего растра.

Изображение щели (его средняя часть) должна перекрывать по высоте размер растра.

Окончательный контроль фокусировок — по максимальной величине сигнала.

З.б. Для регистрации сигналов от изображения щели, про модулированного растром, на оптическую ось выходного объектива за растром вводят коллектив, изображающий выходной зрачок выходного микрообъектива на рабочую площадку приемника излучения. подключенного к регистрирующему устройству.

3.7. Проводят регистрацию сигналов во всем диапазоне частот растра, сканируя им изображение щели с экрана испытуемого ЭОП Для повышения точности измерения проводят не менее & раз.

3.8. Для определения нулевого отсчета Л© проводят регистрацию сигнала при работе испытуемого ЭОП без световой нагрузки на катод (учет темнового фона и посторонних засветок). Полученное значение сигнала принимают за нулевой отсчет Л_с.

3.9. Измерение КПК. и нулевого отсчета Л_о проводит в темноте.

4. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

4.1. Коэффициент передачи контраста Т^ испытуемого ЭОП для каждой частоты /V_K, приведенной к плоскости фотокатода испытуемого ЭОП. вычисляют по формуле

ГОСТ 21815.18—90 С 5

4= гал^г к- <²>

где Л_шах — максимальное- значение сигнала, соответствующее сов* метению центра прозрачного штриха растра в середине элемента каждой группы с изображением ивежм;

Лям —минимальное значение сигнала, соответствующее совмещению центра непрозрачного штриха в середине элемента каждой группы с изображением щели;

Л_о — значение нулевого отсчета:

Л_о — поправочный коэффициент» учитывающий систематическую- погрешность, вносимую измерительной установкой .

Поправочный коэффициент К_и определяют для каждого конкретного варианта входной и выходной оптики для каждого тина измеряемых ЭОП.

Определение поправочного коэффициента Л„ проводят по методике, указанной в приложении 5, и результат заносят в формуляр измерительной установки.

Пространственную частоту (V_K). мм^-1, рассчитывают по формуле

Л- !г^а., О)

где Г, —электронно-оптическое увеличение испытуемого ЭОП, измеренное по ГОСТ 21815.10;

Г _ли*. со —увеличение выходного инкрообъектива (указывают в ТУ на изделие конкретного типа):

Р—период растра анализирующего блока, мм (указывают в- формуляре измерительной установки).

4.2. Строят график зависимости значений КПК от частоты ^»J = f(^„ )» представляющий собой частотно-контрастную характеристику ЭОП.

4.3. С графика ЧКХ снимают значения T,v для заданных частот ио НТД на испытуемое изделие.

5. ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ

5.1. При соблюдении требований настоящего стандарта суммарная погрешность измерения КПК ЭОП для частоты, не превышающей 16 шт./мм, с вероятностью 0,95 находится в интервале

± 10 % — для изделий с Г» >0,81;

±12 % —для изделий с Г> <0,80.

Закон распределения — нормальный.

Расчет погрешности приведен в приложении &.

С. 6 ГОСТ 21815.18—90

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Справочное

ТЕРМИНЫ. ПРИМЕНЯЕМЫЕ В НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ, И ИХ ПОЯСНЕНИЯ

ПРИЛОЖЕНИЕ. 2

Рекомендуемое

ТРЕБОВАНИЯ К ДИАФРАГМЕ СО ЩЕЛЬЮ

Диафрагма представляет собой непрозрачную яласгияу с окном прямоугольной форны-шелъю о соответствия с черт. 2. Отношение коэффициента пропус-жажия, соответственно, щели (тщ) и непрозрачного поля диафрагмы (с.) должно удом створять условию

> >210. Та

Ширину щелк (а) определяют из условия

^а"^ 4 V ./' '•Лит»»'* вх.оп

(4)

(5)

«с Л’_КЯВж-“-максимальное: значение оространсгеенной частоты на катоде испытуемого ЭОП в диапазоне частот, указанных я документации на ЭОП конкретного типа, им-’;

ГОСТ 23815.1.8—90 С 7

Г „ „с — увеличений входной оптики.

Рабочую высоту щели (Л_р) в миллиметрах определяют Ю условия

г_ннх._п.лгт^; •

где Н^— высота элемента анализирующего растра;

Е_мх <м—увеличение выходной оптики;

Гь — электронное увеличение испытуемого ЭОП.

Полная высота щели (й> должна удовлетворять условию

л>ыл₉.

(6)

Черт. 2

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 Рекомендуема

ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЕМЕНТАМ СХЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ

I. Длина элемента 1_Т зналнзируюшего растра должна удовлетворять требованию

h>^?'-r^._m-r„ (7)

где б —ширина функции рассеяния линта ЭОП, приведенная к плоскости катода, в. пределах которой содержится не менее 99 % энергии сас-тяшейся щели;

7 »_ых со — уиеличеиас выходной оптики;

Г» — элсктрокно-оптаческое увеличение ЭОП.

Значение б — функция рассеяния линии, в пределах которой сосредоточено R 100 %-ной энергии светящейся липни, определяется распределением энергии в изображении линии, выражаемая Гауссовской функцией

Hx)^^, <8>

где г — приведено к плоскости катода ЭОП. В этом случае

С. 8 ГОСТ 21815.18—90

t

-«•

; ^^4<

Интеграл а знаменателе формулы (9) равен ) пб- . Интеграл в числителе формулы (9) равен ^К л Ф^х), где Ф_Л<х)=Г7= J с ² dt —интеграл Г 2л о вероятности.

Решая формулу (9). получим

/?--=2Ф,(л). (10)

Найдя по значению функции Ф; (г) —-у значение аргумента л (по таблицам интеграла вероятности), определяют (б) из соотношения

б-л2 /2">, (11)

где b — параметр, характеризующий -степень размытия изображения точки ЭОП.

Параметр (о) может быть приблизительно определен по известному значению предела разрешения ЭОП .Vnp

^= —. и²)

где Л'пр — предел разрешения ЭОП;

Г» . ^ск — злектронн<го«тическое увеличение ЭОП я увеличение окуляра при измерении Л’_пр соответственно.

Так например, если .V_3p =-30 мм -», Г_я=», Г^^АбХ, та Ь = 0.066 (по формуле 12) и б^ОЗ мм (ио формуле J1).

2. Прозрачность светлых участке» растра должна быть 0.05, плотность непрозрачного слоя ^J.

3. Линейное поле зрения (2/') выходного мнкрообьскгива должно удовлетворять условию

аг^/нГ^Т (13)

где Н^ — высота элемента анализирующего растра;

(р — длина элемента анализирующего- растра.

4. Световой диаметр коллекгила (©_св ) должен быть кс менее янкейного поля зрения выходного мнкрообьежтива.

»<.= /"Г+Т” <^м>

ГОСТ 21815.18—90 С. 9

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Рекомендуемое

ПЕРЕЧЕНЬ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ

Приемник излучения

Быстродействующий са-

MOIMUyuiHA прибор

Микрообьектяиы

— ФЭУ—St ОРЗ .368.044 ТУ чувсгвк-гелшость фо-токатода не менее [30 мкА/лм; анодная чувствительность не менее 100 Л/лм; теиновой ток вс более ЯО-⁴ А

Окуляры Гюйгенса

Установка для измерений: частотяо-контоастяых характеристик (ЧКХ) ЭОП

— НЗЭ8 ТУ 25—СМ—236В—74 постоянные регист-рэшле: 0,02; 0.05 В/см; частотный диапазон O-I00 Гц

— no P.VIO 912—68 ОМ-12 увеличение 3,7*. апертура ОДП; М-42 увол1гчеизе |{>х. апертура 0.2; ОМ-5 увеличение 10Х„ апертура 0.3; ОМ-27 увеличение 20*, апертура 0.4; 0М-16 увеличение 40Х, апертура 0,95; ОХ-Ы фокусное рас-стояние 33.9 мм

— AM.-G увеличение 4*; АМ-11 увеличение 7Х

— К 08.421 ТУ диапалок пространственных частот миры от Ус=0,С6 до 2.0 мм-¹; длина из-меряемых ЭОП от 50 мм до 300 мм; ширила рабочей щели 0.1 мм; освещенность пл входе испытуемого ЭОП от 5^10-⁴ лк до 52 лк.

ПРИЛОЖЕНИЕ 5

Обязательное

МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОПРАВОЧНОГО КОЭФФИЦИЕНТА К,

Из теории спектров h.m®cctw. что спектр сигнала па выходе системы / _л. связан со спектром входного сигнала 0_Л соотношением

^hi ⁼Гм '^я ■ (15)

где 0^ —спектр сигнала на входе системы;

Fи — частотно-контрастная характеристика системы в целом.

На установке, функциональная схема которой показана на черт, I, измеряемая велячпва T'_h. представляет значение функция ту на частоте ^=^_ж.

Значение функцию i _v на простравсгванноЯ мастите N=N _к равно

*.« J^o»- '^rt''^T^ - (16)

где Т _ВХЛ,- — коэффициент передачи контраста входной оптики;

Т _Л —коэффициент передачи контраста ЭОП;

Т ₁₄._s<v —коэффициент передачи контраста выходного блока.

С. «О ГОСТ 21815.18—90

Значение функции (Од ) па пространственной частоте Л'-,—Л\/Г, вычисляют по формуле

где Л — нирана тын, приведенная к плоскости катода ЭОП, ми (

Следовательно, в соответствии с формулой (15), за частоте Л'^-Д'* измеряемое значение К.ПК равно

Ч^^’Ч^^/Ч ^(1&)

Пользуясь формулами (16) я (18), можно получить искомое значение r_v ЭОП

А N. '

поправочный коэффициент (20) установки на

ч астоте <V _к;

1

ч

— поправка, учитывающая погрешность, вносимую щелью при «зге-гуоленин

1

ее размера Д от величины, равной Д= "рвущей погрешность в метод измерения).

(практически но вноса-

1. Методика определения Л,,установки для измерения ЭОП с Г_э>0,81

1.1. Для определения Л_п установки используют измерительные приборы и вспомогательные устройство, входящие з установку, функциональная схема которой приведена на черт. 1.

1.2. Входной блок с рабочей щелью (осветитель, входная оптика) л блок приемного устройства (анализирующий блок и регистрирующее устройство) сдвинуть навстречу друг другу до получения резкого изображения рабочей щели з плоскости анализирующего растра.

1Л Измерения КПК установки провести в соответствия с пп. 3.5—3.7, а обработку результатов — в соответствии с разд. 4 настоящего стандарта.

Полученное значение

^-^■^^ ⁽²¹⁾

1.4. Измерение проводят не менее 9 раз. Среднее арифметическое значение Гу_ст,\г для каждой группы растра рассчитывают по формуле

ГОСТ 21815.18—VO С. 1 I

г хе /1 — чмсло измерений ;

£ — номер .измерения.

■1.3. Поплавочный коэффициент Кл рассчитывают по формуле (20) с учетом расчета О^ по формуле {17) и Г_у(7.^ по формуле (22).

I — осмчмедь; 1 — алвфрггиа со щелью-. 3 — входная оптика (инкрООбМаТИЯ * Обратном холе); 4 — выхолноА микрсобмкгкь;

5 — выходной эр»чох михрообвектява поэ, 4; в — яиалазхруюэдяЯ растр 7 — коллектив; г — присминх ммумния; Я — регистрирующее устройство; Ю — накооехоа; Л - окалнвкрумш* блок

Черт. 3

2. Методика определения К„ установки для измерения ЭОП с Г_#<03

£1. Для случая, когда электронно-оптическое увеличение испытуемого иоделия Г, <0.8. при измерении КПК. ЭОП блок осветителя будет работать нз

частотах N_K. а приемный блок — на частотах W»—’р^-" -

В этом случае необходимо провести раздельные измерения КПК блока ос-еетителя и приемного блока, а поправочный коэффициент определять по формуле

Яп-Кп.-*п,. («3)

где ^„ = ----L=--поправочный коэффициент юсзстлтеля с рабочей

¹ тедью;

^"«*“ Там,- —поправочный коэффициент приемного блока.

2.2. Измерения проводят поэтапно.

2.2.1. Промести {измерения КПК i:o методике, указанной выше в полком диапазоне частот, и провести расчет по формуле (22).

2.2.2. В плоскость предмета выходного микрообъектива ввести вспомогательную щель

Л.сг.С

еде Ppmin —иявнмзлышй период растра анализирующего узла; Г»их _О1—уаеяячевне оптики анализирующего блока.

С. 12 ГОСТ 21815.18—90

2.2.3. Рабочую щель вылуть.

2.24. Провести измерения КПК выходного блоха. Измерения повторять не менее 9 раз.

2.2.5 Вычислить -среднее арифметические значения КПК для каждой группы растра по формуле

(24)

2.2.^. Искомое значение T_ouxN

вычислить по формуле.

(26)

,мп(Л'>-Диет-я) . »

где ■•’ ⁼ —V~A---"л---— значение функция О_А<для вспомогательной щелн

Д»сп.

2.2.7. Поправочные коэффициенты К_п я К_П: вычисляются соотпетствемио по формулам:

(26)

где Tbmx_v —рассчитывают ио формуле (25);

O_N —рассчитывают по формуле (17);

Т_устл, —рассчит ывают по формуле (22).

где 7_ви,_Л- —рассчитано по формуле (25)

2.2.8. Построить графики зависимости

К_#1=Л^ ) и *„,=/(*,)•

При расчете К_г. по формуле (23) значение К_щ н Кп, берут яз графиков, причем K„_t—на частотах Л’_ж , указанных; а НТД на испытуемый тип изделий; а К „, — «л частот ах Л^— ^., где Г, — электронио-оптаческое увеличение испытуемого изделия.

2.2.9, Осатовзая приведенная погрешность при определения К_п не превышает 5 % при доверительной вероятности 0.95, закон распределения — нормальный.

Примечание, При определении К _п увеличение микухтобьестивов входного блока м выходного должно быть одонажовым (яапрялтср для случая, когда Г _э >0.81, ЮХ, а для случая, к-огда Г,<0.8, 20*).

(27)

ГОСТ 21815.18-90 СЛв

ПРИЛОЖЕНИЕ 6

Справочное

РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ

1. Формула аычнслыаия коэффициента передачи контраста на заданной частоте N*. приведенной в плоскость катода (испытуемого ЭОП, по данным намерений имеет следующей вид

Тусг‘^н

~Т^К„.

(23)

где TL — измеряемое значение КПК;

К_п — поправочный коэффициент, учитывающий систематическую погрешность, «носимую измерительной установкой.

2. Средняя квадратическая погрешность измерения КПК вычисляется по фор

муле

% * У^ф-у^Аф^^ * ^(2Ч‘

где а„р _ус — средняя квадратическая случайная погреши осп. приемного блока установки;

^иф—^с₽^еД^няя квадратическая погрешность, обусловленная нестабильностью подфокусирувощего напряжения ЭОП;

Кц—коэффициент влиянии приращения подфокускрук>щ«го напряжения ЭОП из приращение отсчета п (К. _v •» !)■,

(Г/л—средняя квадратическая погрешность, связанная с нестабильностью питания лампы;

^к и —средняя квадратическая погрешность при определении системати-

ческой ошибки установки | К_п^_л— -—: 4 <уст’

из частоте N* .

2.1. Средняя квадратическая случайная погрешность приемного блока установки (приемник ФЭУ-ОД составляет о,_{1;Р ус} —'ЛО %.

2,2. Средних; квадратическую погрешность оу^ . обусловленную полфоку-енрующим напряжением ЭОП. вычислить ио формуле

о?, ^о*. -40^ -toL-i-4 , °пф ^илр ^иулс ” ^и*

(»)

ГДС Orj , О«

-ip ^с пульс

, вц — СКО прибора контроля подфокусярующето напряжения, связанные с пульсациями и нестабильностью над-ряжения.

<4₽“ 1.73

j^j- ^0,87 %,

где 6^,—основная погрешность прибора контроля подфок усируюшего напряже

ния;

о^— дополнительная средняя квадратическая погрешность прибора краю интервала, температур (25—ЭЭ) *С.

С. 14 ГОСТ 21815.18—9€

«V 0,5

<4= 1,73

I .5 0.5 "ТлГ"

-0.43 % ■

«н.п

а» = —о— = —н— =0,053 % , пульс

где.e_{z п}- максимальная величина пульсации источников питания изделие («и.п -О' %)■

<-= (-^М^У^.-^.

«ист — максималькс* значение веста бнльностя подфокуенрующего напряжения (е_{лСг в} — во временя — 1 % и «_М1С — па сети — 1 %).

Подставляя полученные значения в формулу (30), получим

о ц* ^ 0.87=4-0,43^:4-0.033* 4-О.«> —1,12 %.

2.3. Среднюю квалратичххку» погрешность о-л. связанная с нестабильностью тетания лалпы. вычисляю г по форму .те

<,=*Ь<_С+<Л он

где К_а —коэффициент влияния нестабильности исгс-чмих-а питания лампы «а отсчеты л и л_и (определен экспериментально К_л =6.5).

°м.с • °м ь—средняя квадратическая погрешность sice га Сильное™ источника

питания лампы при изменении напряжения сети па * 10 % к за время измерения «оотпетпанно

е._{л с} ’’’«Л» в— максимальное значение ксста-билыюсги источника тетания лампы. Подставив численны* значения и формулу (31), получим

о; «б.5*СО,067³+0₁«7»)=0,38 %.

2.1. О пр еде леям е погрет к ости Q к к •

24 1 Среднюю квадратическую погрешность о_Л Л' ^ПР^Н определение сис-тематической ошибки установки иа честите Л’_х —^—для изделий с Г, > Q,84 вычисляют гео формуле

% "Г⁰^ ^^ч Ч^ V_K • < ^

где cr_yci,v —средняя квадратическая погрешность при определения КПК самой установки «а частоте ^ ;

о.у —средняя квадратическая погрешность- при вычисления Л\;

cg_v —средняя квадратическая погрешность за счет поправка на ширину рабочей щели d^ установки.

2.4.2. Среднюю квадратическую погрешность Оуст-v при определении КПК самой установки вычисляют по формуле

ГОСТ 21815.18—М Q .16

’’ycrW “^^р.ус+^д > <^W

где Опр.ует "2 %:

«y_<w— средняя квадратическая погрешмюсть нестабильности источника лигання лампы.

СП »0? 4<г = 2а,<Ю7¹-0,0! %.

‘дет л. с 'л. в

Подставив численные значения з формулу (35), получим

o^^-S^i-O.Ol -8.01%,

2.4.3. Среднюю хаадрэпическую погрешность при вычисление Л\ определяют до формуле

t-L.o44..r <«>

где 0_Г -средняя квадратическая погрешность при определенна «оптическо-

В1ЛС оп

го увеличения микраобылжва белка (j,r =’..75 % ДЛЯ №•

ИМ» -ОП

мы деления окулярного <ипирометра С—0.001 ft) мм);

о С —«средняя кнадрагнчеекэ я погрешность при измерения электронно-отттическопо увеличения (о_г =1.5 % по ГОСТ 21815.10)-, «растр—средняя квадратическая погрешность при измерения периода растра Р.

I АР ДР

O'pmtp— "з--/Г ЮО % ~р "‘О >025 зля любого периода растра н соответствия с ОСТ 3.4804.

ОДЙЭ

^оР»стр=—з— -100=0,83 $.

Подставляя численные значения в формулу (33), получим ^«1.75«4l,5^a+0.^«6.0 %.

2.4.4. 11онрйа«у за ширину рабочей ш<лн (d.i;) установки начисляют по формуле slnfn-^-doi-r^ )

Среднюю квадратическую погрешность за счет поправки из ширину рабочей щели (л^ ) вычисляют по формуле

"о . ^O^-ljlZ^w +2<^ 4-2о_г Л_к Р к ш вх «п

(36>

где л^я^-т/в -Г_{м оп} ;

0_ti =2.45 % а соответствии с формулой (34);

^_щ —средняя хладратимеская погрешность при измерении рабочей: щели dm’. о^щ —1 % (измерительный компаратор ИЗЛ-2);

С. 16 ГОСТ 21815.18—ВО

а_г - средняя квадратическая погрешность при определении оптического М.И1

увеличения .микрообъектява осветителя;

о_г =1,75 % (для микроскопа с 10Х мнкрообъектмвом « окуляром м оя

М.ОВ-1—‘16* с цыюй деления О,00103 мм).

Для й_ш~0,1 мм, V_H=1& мы^-1 , Г^ _вп =0,1

^ov ^=0J l^'^^¹ *+^^^ )/aM25-0,45 %.

Подставив численные значения в формулу (32), получим

0^_iV —8 0,1+6,04-0,45’= 14,2 %;

«Х.^3,8 %.

2 4.5. Погрешность ст_Л- ^ дли изделий с Г-,<0.8 определяют до фор-

где

а_₍ - средняя киадратеческая погрешность за счет поправки на ширину иаюмогагельной теля Л _Исл нрн определении КПК приемного блоха;

<г_Счпт—погрешность считывания с графика значений Х_Я1 я

Kj составляют 1,0 % (определена экспериментально); «^гЛ^ ■ ^ • ^a^_v “ ⁶ <'Х>т»етсгвил с не. 2.4.2, 2.4.3, 2.4.4.

2.4.5. Поправку за ширину вспомогательной щели Д»_са при определенна КПК. приемного блока вычисляют по формуле

&N

мп(л .У, Д_аеп) лЛэЛ^п

(38)

Среднюю Евалратячсекую погрешность, за счет поправки на ширину вспо* могатслыгай отели (а— ) вычисляют по формуле

°о_у -<« W‘~’»> ]/ -^ол\+^2о4,_сП-где *=я-ЛГ»&_всп;

(33)

а_к — средняя квадратическая погрешность при вычислении

.. G«wx.«in ----р----- ;

^ -^.p+Or -0.83* г>.75«-2,58 %;

’ Г шх.ол.

с_д_ _п —средняя квадратическая погрешность при измерении вспомогательной щ«ля Д-осл (измерительный компаратор ИЗА-2);

°Чся “^S *'

Для Л„«1—0,015 мм, JV,=-t6 мм-«

ГОСТ 21815.18-90 С. 37

о..^ =С.2 j/?-2,58+2

Подставив численные значения в формулу (37). получим сГд-, ^=2-8,01 -;>,п М>. 15^г 4 0,51^а +1¹ ~»,5 %:

3. Среднюю хазар атячссхую погрешность кзыерсапя к-оэффионента передачи контраста вычисляют по формуле (39). подставляя численные значения.

Для изделий с Г» <0,8

<>t_v = I ■ZT-TLB’M¹^^

Семерная погрешность измерения для частоты, не превышающей Гб мм-¹, с вероятностью 0.95 находится в интервале

8у =±1,96а_г =±1,96-5,7—±11.2 %.

Для изделий с Г_э<0Л1

д^ =±1 .96-4,9= ±9,6 % .

Закон распределения — нормальный.

С 18 ГОСТ 2 1815.18—90

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством электронной промышленности СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

С. Н. крсстинин (руководитель темы): С. А. Муравлева; М. В. Ненашева; А. В. См азков

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 2'9.12.90 № 3725

3. Срок первой проверки — 3 квартал 1997 г. Периодичность проверки — 5 лет

4. Взамен ОСТ ВЗ-4119—78

5. Ссылочные нормативно-технические документы

Об‘линяние Н1Д. на которой д»л седока

Ы.мер пун ига

ГОСТ ГОСТ гост гост

7721 —80

11012.O-BI

16263—70

19803—85

ГОСТ 21BI5.O-86

ГОСТ 2 1815.10—05

аз Вводная Вводная В водил я Вводная

часть часть часть

часть. 2.2; 2.9

Редактор 1‘. Г. Гавердовская Технический редактор Л. Я. Митрофанооа

Корректор £■ К). Г^буук

Гля-м к «ий 77 ТО.»! Пода и сеч. 21.05.91. 1.35 ум, п. л. 1.25 уел. кр-отт. 1,10

Т, р«« ИЗО Цен» «5 к.

•Ордена «Знак Почет»* Издательство стандартов. 123607, -Месив, ГСП НоаоярсснепекиЯ пер.. 3

Юлужскья типография стандартов, ул. Мэсмхсмя. 250. 3»>г. *02