ГОСТ Р 50116-92
Группа Э00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА
Термины и определения
Microcontamination control.
Terms and definitions
OКC 01.040.31
ОКСТУ 0012
Дата введения 1993-07-01
Предисловие
1 РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстандартом
2 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН в действие Постановлением Госстандарта России от 06.08.92 N 896
3 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
4 ПЕРЕИЗДАНИЕ
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта |
6.1, 6.2 | |
6.3 | |
6.4, 6.6, 6.13 |
Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.
Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.
Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.
1 Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой "Ндп".
2 Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.
Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.
В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.
3 Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.
В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.
4 В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.
5 Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.
6 Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, - светлым, а синонимы - курсивом.
1 Общие понятия
1.1 электронная гигиена; ЭГ (Ндп. вакуумная гигиена; электронно-вакуумная гигиена; технологическая гигиена; производственная гигиена): Комплекс обязательных требований, норм, средств и мероприятий, направленных на обеспечение заданных параметров технологического микроклимата с целью защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий в процессе производства.
1.2 (технологический) микроклимат: Искусственно создаваемые условия воздушной и газовой среды в помещениях и на рабочих местах для защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий.
Примечание - Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью, избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.
1.3 чистое помещение; ЧП: Помещение, в том числе и производственное, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, в котором конструктивно-строительным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.
1.4 чистое рабочее место; ЧРМ: Рабочее место в чистом помещении, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, на котором конструктивным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.
1.5 класс чистоты помещения [рабочего места] (Ндп. уровень запыленности, уровень чистоты): Характеристика чистого помещения [рабочего места], определяемая нормами запыленности в них.
1.6 служба электронной гигиены: Подразделение, осуществляющее координацию работ по обеспечению и контролю требований электронной гигиены.
1.7 дисциплина в чистом помещении: Элемент технологической дисциплины, регламентирующий соблюдение персоналом чистого помещения требований и правил электронной гигиены, установленных в нормативно-технических документах.
2 Характеристики технологического микроклимата
2.1 (технологическое) загрязнение: Наличие твердых и жидких частиц, примесей газов, а также микроорганизмов, которые могут явиться причиной дефектов в процессе производства.
2.2 источник загрязнения -
2.3 запыленность воздуха [газа] (Ндп. содержание частиц, концентрация частиц): Количество частиц в единице объема воздуха [газа].
Примечание - При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.
3 Средства обеспечения электронной гигиены
3.1 средства обеспечения электронной гигиены: Комплекс технических средств обеспечения параметров технологического микроклимата, включающий в себя пылезащитное и пылеулавливающее оборудование, технологическую одежду, технологические принадлежности.
3.2 пылезащитное оборудование: Оборудование, устанавливаемое в чистых помещениях для защиты изделий, технологического оборудования, оснастки и инструмента от неблагоприятных внешних воздействий, в том числе от загрязнений.
Примечание - К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.
3.3 термоконстантное [термовлагоконстантное] пылезащитное оборудование: Пылезащитное оборудование, в котором с заданной точностью поддерживаются температура [температура и относительная влажность] воздуха.
3.4 чистая комната: Пылезащитное оборудование, представляющее собой замкнутый герметичный объем для размещения технологического оборудования или его рабочей части, оснастки, инструмента, обрабатываемых изделий, персонала и проведения технологических операций.
Примечание - Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.
3.5 пылезащитная (технологическая) тара: Герметичная тара из антистатических материалов, стойких к внешним воздействиям и не выделяющих пыли, предназначенная для защиты изделий от загрязнений, механических повреждений и статического электричества.
Примечание - Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.
3.6 технологическая одежда: Комплект одежды и обуви, предназначенный для работающих в чистых помещениях и предохраняющий изделия, оборудование, оснастку, инструмент и рабочее место от вносимых работающим загрязнений и статического электричества.
Примечание - В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойствами.
3.7 технологические принадлежности: Средства защиты изделий, материалов, оборудования, инструмента и оснастки от попадания загрязнений с рук работающих.
4 Производственные здания с чистыми помещениями
4.1 производственное здание с чистыми помещениями: Здание, в котором обеспечены условия размещения чистых помещений.
4.2 чистая зона (Ндп. гермозона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения чистых производственных помещений, включая зоны их обслуживания.
Примечание - В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.
4.3 сервисная зона (Ндп. подготовительная зона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений, в которых проводится подготовка технологических сред и материалов, снятие упаковки с оборудования при вводе его в чистые помещения и другие работы технологического обеспечения производства.
4.4 зона инженерно-технического обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения вентиляционных камер, кондиционеров, станции подготовки воды, компрессорной станции, камеры пылеуборки, трансформаторной подстанции, системы пожаротушения, складов и других инженерных систем.
4.5 зона социально-бытового обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений блока подготовки персонала, комнат отдыха, уборных помещений, медпункта и других вспомогательных помещений.
Примечание - Сервисная зона и зоны инженерно-технического и социально-бытового обслуживания, располагаемые в непосредственной близости к чистой зоне, могут быть не сгруппированы в определенной части производственного здания, а распределяться в объеме чистой и других зон. При высоких технологических требованиях указанные зоны могут включать в себя чистые помещения.
5 Зоны чистых помещений и элементы их конструкции
5.1 рабочая зона (чистого помещения): Часть чистого помещения, в которой размещается технологическое оборудование, обрабатываемые изделия, оснастка и инструмент и осуществляется технологический процесс.
5.2 зона оператора: Часть чистого помещения, в которой находятся операторы, включающая проходы к рабочим местам.
Примечание - Рабочая зона и зона оператора могут иметь отдельные системы очистки воздуха и соответствовать различным классам чистоты.
5.3 зона обслуживания чистого помещения: Часть чистого помещения, расположенная смежно с чистыми комнатами и предназначенная для их обслуживания.
Примечание - В зоне обслуживания могут размещаться нерабочие части технологического оборудования, системы подготовки и контроля технологических сред, включая финишные фильтры и другое вспомогательное оборудование.
5.4 техническая зона над [под] чистым помещением: Пространство над [под] чистым помещением, технический этаж или подвал, предназначенные для размещения подводящих и магистральных воздуховодов, газопроводов, систем кондиционирования, инженерных сетей, обслуживающих чистое помещение, а также для отвода воздуха из него.
5.5 фильтровальный потолок [стена]: Потолок [стена] чистого помещения, в конструкции которого размещены фильтры тонкой очистки воздуха.
5.6 фильтровальный блок: Элемент фильтровального потолка или стены, состоящий из одного или группы фильтров тонкой очистки с устройством подвода воздуха.
5.7 блок обеспыливания: Автономное устройство, состоящее из воздухонагнетателя и фильтров, предназначенное для создания воздушной среды заданной степени чистоты.
5.8 фальшпол: Пол из сборно-разборных конструкций, не накапливающий пыль и электростатический заряд, предназначенный для отвода воздуха из чистых помещений и укрытия коммуникаций и оборудования.
5.9 шлюз для персонала (Ндп. обдувочная шлюзовая камера): Устройство, устанавливаемое перед входом в чистое помещение и предназначенное для снятия струями очищенного воздуха загрязнений с технологической одежды персонала.
5.10 грузовой шлюз (чистого помещения): Устройство, устанавливаемое перед грузовым входом, в чистое помещение и предназначенное для снятия с поступающих грузов загрязнений струей очищенного воздуха.
6 Фильтрование и фильтры
6.1 фильтрация: Самопроизвольное или преднамеренное прохождение жидкости или газа через пористую среду, которое может сопровождаться отделением взвешенных частиц, задерживаемых пористой средой (ГОСТ 16887).
6.2 фильтрование: Преднамеренно осуществляемый процесс фильтрации для разделения жидких неоднородных систем (ГОСТ 16887).
6.3 пылеуловитель: Аппарат для очистки газа от взвешенных частиц (ГОСТ 25199).
6.4 фильтрующий элемент: Часть фильтра, непосредственно осуществляющая фильтрование (ГОСТ 26070).
6.5 сменный фильтрующий элемент: - .
6.6 фильтрующий материал: Материал, предназначенный для изготовления фильтрующих элементов и непосредственного фильтрования жидкости.
Примечание - Различают следующие разновидности фильтрующих материалов: фильтровальная бумага, металлическая сетка, синтетические и натуральные ткани, пористая пластмасса, порошковый материал и другие (ГОСТ 26070).
6.7 (воздушный) фильтр грубой очистки (Ндп. фильтр предварительной очистки): Фильтр, предназначенный для очистки от грубодисперсных частиц размером 5 мкм и более, имеющий общую эффективность 50%-60% и устанавливаемый на входе системы очистки воздуха.
6.8 (воздушный) фильтр промежуточной очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от частиц промежуточной дисперсности размером 1-5 мкм, имеющий общую эффективность 80%-85% и устанавливаемый после воздушного фильтра грубой очистки.
6.9 (воздушный) фильтр тонкой очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от высокодисперсных частиц размером менее 1 мкм, имеющий общую эффективность ~99,97% и выше и устанавливаемый после воздушного фильтра промежуточной очистки.
6.10 финишный фильтр (Ндп. доводочный фильтр): Фильтр устанавливаемый непосредственно в точке потребления фильтруемой среды.
6.11 коэффициент эффективности (воздушного) фильтра (Ндп. коэффициент фильтрации; эффективность очистки; эффективность фильтрации): Отношение разности запыленности воздуха на входе и на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.
Примечания
1 Коэффициент эффективности, выраженный в процентах, называется эффективностью воздушного фильтра.
2 Эффективность воздушного фильтра может определяться по частицам, лежащим в определенных диапазонах размеров. Суммарная эффективность по всем регистрируемым частицам называется общей.
6.12 коэффициент проскока (воздушного) фильтра: Отношение запыленности воздуха на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.
6.13 перепад давлений на фильтре: Разность давлений на входе и выходе фильтра, под действием которой происходит фильтрование (ГОСТ 26070).
6.14 номинальный перепад давлений на (воздушном) фильтре: Перепад давлений на незагрязненном воздушном фильтре при номинальном расходе воздуха.
6.15 номинальный расход (через воздушный фильтр) (Ндп. производительность воздушного фильтра): Объем или масса фильтруемого воздуха, проходящего через воздушный фильтр в единицу времени при номинальном перепаде давлений на фильтре.
6.16 пылеемкость (воздушного) фильтра: Объемное или весовое количество частиц, осаждение которых на воздушном фильтре повышает перепад давления на нем в заданное число раз при номинальном расходе через воздушный фильтр.
7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях
7.1 контроль параметров (технологического) микроклимата: - .
7.2 контроль запыленности воздуха: Определение количества частиц установленного размера в единице объема воздуха чистых помещений или чистых рабочих мест.
7.3 отбор проб (при контроле запыленности воздуха): Установление объемов отбираемых проб воздуха, числа и длительности измерений, а также количества и расположения точек в пространстве чистого помещения или чистого рабочего места, в которых следует поместить счетчик частиц при контроле запыленности воздуха.
7.4 аттестация чистых помещений [чистых рабочих мест]: Периодическая комплексная проверка параметров технологического микроклимата в чистых помещениях [на чистых рабочих местах] на соответствие требованиям нормативно-технических документов.
7.5 счетчик частиц: Прибор, основанный на различных физических принципах, позволяющий провести подсчет частиц в воздухе, а также установить распределение их по размерам.
7.6 оптический счетчик частиц: Светорассеивающий прибор, оснащенный регистрирующим устройством для определения количества частиц и распределения их по размерам.
7.7 лазерный счетчик частиц: Оптический счетчик частиц, использующий лазер в качестве источника излучения.
7.8 конденсационный счетчик частиц: Счетчик частиц, в котором для увеличения чувствительности в воздушную среду аналитической камеры вводятся пересыщенные пары вещества, которые, конденсируясь на частицах, увеличивают размер частиц.
7.9 система контроля (воздушной) среды: Система, состоящая из датчиков запыленности, температуры, относительной влажности, давления и скорости воздушного потока и аппаратуры для обработки и регистрации данных об этих параметрах, позволяющая осуществлять регулярный периодический или непрерывный контроль параметров технологического микроклимата в чистых помещениях.
7.10 контроль запыленности (воздуха) мембранным фильтром: Контроль, основанный на пропускании определенной порции воздуха через мембранный фильтр и подсчете количества и размера частиц, осевших на ней.
7.11 контроль запыленности (воздуха) контрольной пластиной: Определение запыленности воздуха путем подсчета количества и распределения по размерам частиц, осевших на зеркальную пластину, помещенную на определенное время в заданной точке.
7.12 пылеуборка: Совокупность способов и средств удаления загрязнений в чистых помещениях, в том числе осевших частиц.
Примечание - Пылеуборка подразделяется на сухую, влажную и централизованную вакуумную.
7.13 ввод оборудования (в чистое помещение): Комплекс мероприятий по обеспечению минимального внесения загрязнений в чистое помещение при транспортировании в него технологического оборудования, вводимого в действие.
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ
Аттестация чистых помещений | 7.4 |
Аттестация чистых рабочих мест | 7.4 |
Блок обеспыливания | 5.7 |
Блок фильтровальный | 5.6 |
Ввод оборудования | 7.13 |
Ввод оборудования в чистое помещение | 7.13 |
Гермозона | 4.2 |
Гигиена вакуумная | 1.1 |
Гигиена производственная | 1.1 |
Гигиена технологическая | 1.1 |
Гигиена электронная | 1.1 |
Гигиена электронно-вакуумная | 1.1 |
Дисциплина в чистом помещении | 1.7 |
Загрязнение | 2.1 |
Загрязнение технологическое | 2.1 |
Запыленность воздуха | 2.3 |
Запыленность газа | 2.3 |
Здание с чистыми помещениями производственное | 4.1 |
Зона инженерно-технического обслуживания | 4.4 |
Зона над чистым помещением техническая | 5.4 |
Зона обслуживания чистого помещения | 5.3 |
Зона оператора | 5.2 |
Зона подготовительная | 4.3 |
Зона под чистым помещением техническая | 5.4 |
Зона рабочая | 5.1 |
Зона сервисная | 4.3 |
Зона социально-бытового обслуживания | 4.5 |
Зона чистая | 4.2 |
Зона чистого помещения рабочая | 5.1 |
Источник загрязнения | 2.2 |
Камера шлюзовая обдувочная | 5.9 |
Класс чистоты помещения | 1.5 |
Класс чистоты рабочего места | 1.5 |
Комната чистая | 3.4 |
Контроль запыленности воздуха | 7.2 |
Контроль запыленности воздуха контрольной пластиной | 7.11 |
Контроль запыленности воздуха мембранным фильтром | 7.10 |
Контроль запыленности контрольной пластиной | 7.11 |
Контроль запыленности мембранным фильтром | 7.10 |
Контроль параметров микроклимата | 7.1 |
Контроль параметров технологического микроклимата | 7.1 |
Концентрация частиц | 2.3 |
Коэффициент проскока воздушного фильтра | 6.12 |
Коэффициент проскока фильтра | 6.12 |
Коэффициент фильтрации | 6.11 |
Коэффициент эффективности воздушного фильтра | 6.11 |
Коэффициент эффективности фильтра | 6.11 |
Материал фильтрующий | 6.6 |
Место рабочее чистое | 1.4 |
Микроклимат | 1.2 |
Микроклимат технологический | 1.2 |
Оборудование пылезащитное | 3.2 |
Оборудование пылезащитное термовлагоконстантное | 3.3 |
Оборудование пылезащитное термоконстантное | 3.3 |
Одежда технологическая | 3.6 |
Отбор проб | 7.3 |
Отбор проб при контроле запыленности воздуха | 7.3 |
Перепад давлений на воздушном фильтре номинальный | 6.14 |
Перепад давлений на фильтре | 6.13 |
Перепад давлений на фильтре номинальный | 6.14 |
Помещение чистое | 1.3 |
Потолок фильтровальный | 5.5 |
Принадлежности технологические | 3.7 |
Производительность воздушного фильтра | 6.15 |
Пылеемкость воздушного фильтра | 6.16 |
Пылеемкость фильтра | 6.16 |
Пылеуборка | 7.12 |
Пылеуловитель | 6.3 |
Расход номинальный | 6.15 |
Расход через воздушный фильтр номинальный | 6.15 |
Система контроля воздушной среды | 7.9 |
Система контроля среды | 7.9 |
Служба электронной гигиены | 1.6 |
Содержание частиц | 2.3 |
Средства обеспечения электронной гигиены | 3.1 |
Стена фильтровальная | 5.5 |
Счетчик частиц | 7.5 |
Счетчик частиц конденсационный | 7.8 |
Счетчик частиц лазерный | 7.7 |
Счетчик частиц оптический | 7.6 |
Тара пылезащитная | 3.5 |
Тара технологическая пылезащитная | 3.5 |
Уровень запыленности | 1.5 |
Уровень чистоты | 1.5 |
Фальшпол | 5.8 |
Фильтрация | 6.1 |
Фильтр грубой очистки | 6.7 |
Фильтр грубой очистки воздушный | 6.7 |
Фильтр доводочный | 6.10 |
Фильтрование | 6.2 |
Фильтр предварительной очистки | 6.7 |
Фильтр промежуточной очистки | 6.8 |
Фильтр промежуточной очистки воздушный | 6.8 |
Фильтр тонкой очистки | 6.9 |
Фильтр тонкой очистки воздушный | 6.9 |
Фильтр финишный | 6.10 |
ЧП | 1.3 |
ЧРМ | 1.4 |
Шлюз грузовой | 5.10 |
Шлюз для персонала | 5.9 |
Шлюз чистого помещения грузовой | 5.10 |
ЭГ | 1.1 |
Элемент фильтрующий | 6.4 |
Элемент фильтрующий сменный | 6.5 |
Эффективность очистки | 6.11 |
Эффективность фильтрации | 6.11 |
Текст документа сверен по:
Электроника. Термины и определения.
Часть 3: Сб. стандартов. -
, 2005