ГОСТ 5197-85
(СТ СЭВ 4751-84,
СТ СЭВ 4839-84,
СТ СЭВ 4840-84)
Группа Т00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
Термины и определения
Vacuum technology. Terms and definitions
ОКСТУ 6360
Дата введения 1986-07-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1985 г. N 3743 срок введения установлен с 01.07.86
ВЗАМЕН ГОСТ 5197-70
Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники.
Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности.
Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840-84.
Стандарт соответствует СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84 в части, указанной в справочном приложении 2.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
Применение терминов - синонимов стандартизованного термина не допускается.
Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в данном стандарте.
В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приведено и в графе "Определение" поставлен прочерк.
В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (D), английском (Е), французском (F) языках.
В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике.
В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов.
Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом.
Термин | Определение | |
ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ | ||
1. Вакуум D. Vakuum Е. Vacuum F. Vide | Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного | |
2. Вакуумная техника D. Vakuumtechnik Е. Vacuum technology F. Technique du vide | Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений | |
3. Степень вакуума D. Vakuumbereiche Е. Ranges of vacuum F. Domaines de vide | Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса. Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума; от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума; от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума; ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума | |
4. Вакуумное масло D. Е. Vacuum pump oil F. Huile de pompe | Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах | |
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ | ||
5. Вакуумная система D. Vakuumsystem Е. Vacuum system F. | Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов | |
6. Вакуумная установка D. Vakuumanlage Е. Vacuum plant F. Installation de vide | Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие | |
7. Вакуумный агрегат D. Vakuumeinheit Е. Vacuum unit F. | Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое | |
8. Откачной пост D. Pumpstand Е. Pumping station F. Stand de pompage | Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий | |
9. Откачиваемый вакуумный сосуд D. Vakuumkamer Е. Pumped container F. Enceinte | Сосуд, в котором создается вакуум | |
10. Элемент вакуумной системы D. Vakuumsystemselement Е. Element of vacuum system F. Element du | - | |
11. Вакуумный насос D. Vakuumpumpe Е. Vacuum pump F. Pompe | Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума | |
12. Вакуумная ловушка D. Falle Е. Trap F. | Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления | |
13. Вакуумный клапан D. Vakuumventil Е. Vacuum valve F. Soupape de vide | Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему | |
14. Вакуумный затвор D. Vakuumschlensenventil Е. Vacuum gate valve F. | Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы | |
15. Напускной вакуумный клапан D. Beluftungsvakuumventil Е. Admittance vacuum valve F. Robinet | Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему | |
16. Вакуумный натекатель D. Nadelvakuumventil E. Air admittance vacuum valve F. Robinet | Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки | |
17. Вакуумный ввод D. E. Vacuum feedthrough F. Passage du vide | Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума | |
18. Вакуумный трубопровод D. Vakuumrohrleitung E. Vacuum pipework F. Conduite | Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ | |
19. Форвакуумный трубопровод D. Vorpumpenrohrleitung E. Backing line F. Conduite | Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу | |
20. Байпасный трубопровод D. Umwegleitung E. Bypass line F. Conduite by-pass | Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос | |
21. Вакуумное защитное устройство D. Vakuumsicherheitsvorrichtung E. Vacuum protective device F. Dispositif de | Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части | |
22. Уравнительный вакуумный баллон D. Druckausgleichskolben E. Equal vessel F. Ballon | Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней | |
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ | ||
23. Низковакуумный насос D. Grobvakuumpumpe E. Rough vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума | |
24. Высоковакуумный насос D. Endvakuumpumpe E. High vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов | |
25. Форвакуумный насос D. Vorvakuumpumpe E. Backing vacuum pump F. Pompe primaire pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки | |
26. Бустерный вакуумный насос D. Boostervakuumpumpe E. Booster vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса | |
27. Вакуумный насос предварительного разрежения D. Vorvakuumpumpe E. Roughing vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов | |
ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | ||
28. Газоперекачивающий вакуумный насос D. Gastransfervakuumpumpe E. Pump for gas transporting F. Pompe | Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля | |
29. Механический вакуумный насос D. Rotationsvakuumpumpe E. Vacuum mechanical pump F. Pompe | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса | |
30. Вакуумный насос объемного действия D. E. Positive displacement vacuum pump F. Pompe | Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу | |
31. Поршневой вакуумный насос D. Hubkolbenvakuumpumpe Е. Piston vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня | |
32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением D. Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость | |
33. Газобалластный вакуумный насос D. Gasballastvakuumpumpe Е. Gas ballast vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе | |
34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем D. Trockenlaufende Vakuumpumpe Е. Dry-sealed vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения | |
35. Вращательный вакуумный насос D. Е. Rotary vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора | |
36. Пластинчато-роторный вакуумный насос D. Drehschiebervakuumpumpe Е. Sliding vane rotary vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом | |
37. Пластинчато-статорный вакуумный насос D. Drehkolbenvakuumpumpe Е. Rotary piston vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом | |
38. Плунжерный вакуумный насос D. Sperrschiebervakuumpumpe Е. Rotary plunger vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора | |
39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос D. Е. Liquid ring vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом | |
40. Двухроторный вакуумный насос D. Е. Roots vacuum pump F. | Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях | |
41. Трохоидный вакуумный насос D. Kreiskolbenvakuumpumpe Е. Trochoid pump F. Pompe trochoide | Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды | |
42. Кинетический вакуумный насос D. Kinetische Vakuumpumpe Е. Kinetic vacuum pump F. Pompe | Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса | |
43. Вакуумный турбонасос D. Turbovakuumpumpe Е. Turbine vacuum pump F. | Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей | |
44. Осевой вакуумный турбонасос D. Axialische Turbovakuumpumpe Е. Axial flow turbine vacuum pump F. | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения | |
45. Центробежный вакуумный турбонасос D. Radialische Turbovakuumpumpe Е. Radial flow turbine vacuum pump F. | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении | |
46. Струйный вакуумный насос D. Treibmittelvakuumpumpe Е. Jet kinetic vacuum pump F. Pompe | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа | |
47. Жидкостно-струйный вакуумный насос D. Е. Liquid jet vacuum pump F. Pompe | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости | |
48. Газоструйный вакуумный насос D. Gasstrahlvakuumpumpe Е. Gas jet vacuum pump F. Ejecteur | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа | |
49. Пароструйный вакуумный насос D. Dampfstrahlvakuumpumpe Е. Vapour jet vacuum pump F. Ejecteur | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара | |
50. Эжекторный вакуумный насос D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe Е. Ejector vacuum pump F. Pompe | Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей | |
51. Диффузионный вакуумный насос D. Diffusionsvakuumpumpe Е. Diffusion pump F. Pompe | Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю | |
52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос D. Diffusionsjekterpumpe Е. Diffusion-ejector pump F. Pompe | Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей | |
53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос D. Selbstreinigende Е. Self purifying diffusion pump F. Pompe | Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу | |
54. Фракционный диффузионный вакуумный насос D. Fraktionierende Е. Fractionating diffusion pump F. Pompe | Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара | |
55. Ионный вакуумный насос D. lonentransferpumpe Е. Ion transfer vacuum pump F. Pompe | Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля | |
ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | ||
56. Газоулавливающий вакуумный насос D. Gasbindende Vakuumpumре Е. Entrapment vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса | |
57. Сорбционный вакуумный насос D. Sorptionspumpe Е. Sorption vacuum pump F. Pompe | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа | |
58. Адсорбционный вакуумный насос D. Adsorptionspumpe Е. Adsorption vacuum pump F. Pompe | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре | |
59. Геттерный вакуумный насос D. Gettervakuumpumpe Е. Getter vacuum pump F. Pompe | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером | |
60. Испарительный геттерный вакуумный насос D. Sublimations getter vakuumpumpe Е. Sublimation vacuum pump F. Pompe | Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера | |
61. Геттерно-ионный вакуумный насос D. lonengettervakuumpumpe Е. Getter ion vacuum pump F. Pompe | Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера | |
62. Испарительно-ионный вакуумный насос D. lonenverdampfervakuumpumpe Е. Sublimation ion vacuum pump F. Pompe | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения | |
63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос D. Е. Sputter ion pump F. Pompe ionique | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле | |
64. Конденсационный вакуумный насос D. Kondensationspumpe Е. Condenserpump F. Pompe condenser | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях | |
65. Вакуумный крионасос D. Kryovakuumpumpe Е. Cryopump F. Pompe cryostatique | Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур | |
66. Комбинированный вакуумный насос D. Vakuumpumpkombination Е. Combined vacuum pump F. Pompe | Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе | |
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК | ||
67. Конденсационная вакуумная ловушка D. Е. Cold trap F. | Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях | |
68. Сорбционная вакуумная ловушка D. Sorptionsfalle Е. Sorption trap F. | Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента | |
69. Ионная вакуумная ловушка D. lonisierungsfalle Е. Ion trap F. | Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация | |
ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ | ||
70. Быстрота откачки D. Е. Pumping rate F. | Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении | |
71. Быстрота действия вакуумного насоса D. Е. Volume flow rate of vacuum pump F. | Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе | |
72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса D. Startdruck Е. Starting pressure F. Pression d'amorcage | Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать | |
73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса D. Maximal Е. Maximum backing pressure F. Pression maximale de refoulement | Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку | |
74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса D. Maximaler Arbeitsdruck Е. Maximum working pressure F. Pression maximale de fonctiounement | Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия | |
75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса D. Enddruck einer Vakuumpumpe Е. Ultimate pressure of vacuum pump F. Pression limite d'une pompe | Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе | |
76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды D. Maximal Е. Maximum rate of handling water vapour F. | Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях | |
77. Наибольшее допустимое давление паров воды D. Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure F. Pression maximale | Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях | |
78. Степень сжатия вакуумного насоса D. Е. Compression ratio F. Taux de compression | Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия | |
ВАКУУММЕТРЫ | ||
79. Вакуумметр D. Vakuummeter Е. Vacuummeter F. | ||
80. Абсолютный вакуумметр D. Absolutes Vakuummeter Е. Absolute vacuum gauge F. | Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам | |
81. Дифференциальный вакуумметр D. Differenzdruckvakuummeter Е. Differential vacuum gauge F. | Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента | |
82. Измерительный преобразователь давления D. Druckmessunformer Е. Gauge pressure transducer F. Transducteur de mesure pression | ||
83. Измерительный блок вакуумметра D. Betriebs und Е. Gauge control unit F. Coffret d'alimentation et de mesure | Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра | |
84. Отсчетное устройство вакуумметра D. Е. Gauge indicating unit F. Dispositif indicateur | Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины | |
85. Вакуумметр полного давления D. Totaldruckvakuummeter Е. Total pressure vacuum gauge F. | Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси | |
86. Жидкостный вакуумметр D. Е. Liquid level manometer F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости | |
87. U-образный вакуумметр D. U-leitung Vakuummeter Е. U-tube vacuum gauge F. Avec unetube en U- | Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости | |
88. Компрессионный вакуумметр D. Kompressionsvakuummeter Е. Compression gauge F. | Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию | |
89. Деформационный вакуумметр D. Federelastisches Vakuummeter Е. Elastic element gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления | |
90. Мембранный вакуумметр D. Membranvakuummeter Е. Diaphragm gauge F. | Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка | |
91. Грузопоршневый вакуумметр D. Druckwaage Е. Pressure balance F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения | |
92. Вязкостный вакуумметр D. Reibungsvakuummeter Е. Viscosity gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления | |
93. Тепловой вакуумметр D. Е. Thermal conductivity gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления | |
94. Термопарный вакуумметр D. Thermokreuz Е. Thermocouple gauge F. | Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления | |
95. Вакуумметр сопротивления D. Thermistor-Vakuummeter Е. Thermistor gauge F. | Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа | |
96. Термомолекулярный вакуумметр D. Molekularvakuummeter Е. Thermo-molecular gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру | |
97. Ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter Е. lonisation vacuum gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления | |
98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle Е. Radioactive ionization gauge F. | Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников | |
99. Магнитный электроразрядный вакуумметр D. Е. Sputter ion gauge F. | Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления | |
100. Вакуумметр Пеннинга D. Penningvakuummeter Е. Penning gauge F. | Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами | |
101. Электронный ионизационный вакуумметр D. Elektronenionisations Vakuummeter Е. Electronic type ionization vacuum F. | Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем | |
102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor Е. Twin-wire oscillator gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки | |
103. Экстракторный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System E. Extractor gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации | |
104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode E. Cold cathode magnetron gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов | |
105. Индикатор с разрядной трубкой D. E. Discharge tube indicator F. Tube | Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа | |
106. Вакуумметр парциального давления D. Partialdruckvakuummeter E. Partial pressure vacuum gauge F. Analyseur de pressions partielles | Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры. Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы | |
107. Масс-спектрометр D. Massenspektrometer E. Mass spectrometer F. | ||
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ | ||
108. Диапазон измерений D. E. Pressure range F. Etendue de mesurage | По ГОСТ 16263-70*. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота | |
________________ * На территории Российской Федерации действуют РМГ 29-99. Здесь и далее по тексту. - . | ||
109. Чувствительность D. Empfindlichkeit E. Sensitivity F. | По ГОСТ 16263-70. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота | |
110. Относительная чувствительность вакуумметра D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit E. Relative sensitivity factor F. Facteur de | Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения | |
111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters E. lonization gauge coefficient F. Coefficient d'un | Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления | |
112. Эквивалентное азотное давление D. Stickstoffaquivalentdruck E. Equivalent nitrogen pressure F. Pression | Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом | |
113. Фоновое давление вакуумметра D. Untergrunddruck E. Background pressure F. Pression residuelle | Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления | |
vide
vide
vide
d'air
de pression
pour Ie vide
vide
(flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe
roots
turbine
turbine 
turbine 
sorption
d'une pompe 
Vorvakuumdruck 
Wasserdampf
de pompage de vapeur d'eau admissible
d'aspiration de vapeur d'eau
vide
absolu
eines 
eines 
de pression totale
liquide
compression
membrane 
piston
conduction thermique
thermocouple
thermistance
thermomoleculaire
ionisation
source radioactive
ionique 
de Penning
ionization 
oscillants
extracteur
cathode froide
de masse
relative
ionisation
d'azote
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ
Агрегат вакуумный | 7 |
Баллон вакуумный уравнительный | 22 |
Блок вакуумметра измерительный | 83 |
Быстрота действия вакуумного насоса | 71 |
Быстрота откачки | 70 |
Вакуум | 1 |
Вакуумметр | 79 |
Вакуумметр абсолютный | 80 |
Вакуумметр вязкостный | 92 |
Вакуумметр грузопоршневой | 91 |
Вакуумметр деформационный | 89 |
Вакуумметр дифференциальный | 81 |
Вакуумметр жидкостный | 86 |
Вакуумметр ионизационный | 97 |
Вакуумметр ионизационный радиоизотопный | 98 |
Вакуумметр ионизационный электронный | 101 |
Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем | 104 |
Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором | 102 |
Вакуумметр компрессионный | 88 |
Вакуумметр магнитный электроразрядный | 99 |
Вакуумметр мембранный | 90 |
Вакуумметр парциального давления | 106 |
Вакуумметр Пеннинга | 100 |
Вакуумметр полного давления | 86 |
Вакуумметр сопротивления | 95 |
Вакуумметр тепловой | 93 |
Вакуумметр термомолекулярный | 96 |
Вакуумметр термопарный | 94 |
Вакуумметр U-образный | 87 |
Вакуумметр экстракторный | 103 |
Ввод вакуумный | 17 |
Давление вакуумметра фоновое | 113 |
Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее | 73 |
Давление вакуумного насоса предельное остаточное | 75 |
Давление запуска вакуумного насоса наибольшее | 72 |
Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее | 74 |
Давление паров воды наибольшее допустимое | 77 |
Давление эквивалентное азотное | 112 |
Диапазон измерений | 108 |
Затвор вакуумный | 14 |
Индикатор с разрядной трубкой | 105 |
Клапан вакуумный | 13 |
Клапан вакуумный напускной | 15 |
Крионасос вакуумный | 65 |
Ловушка вакуумная | 12 |
Ловушка вакуумная ионная | 69 |
Ловушка вакуумная конденсационная | 67 |
Ловушка вакуумная сорбционная | 68 |
Масло вакуумное | 4 |
Масс-спектрометр | 107 |
Насос вакуумный | 11 |
Насос вакуумный адсорбционный | 58 |
Насос вакуумный бустерный | 26 |
Насос вакуумный вращательный | 35 |
Насос вакуумный газобалластный | 33 |
Насос вакуумный газоперекачивающий | 28 |
Насос вакуумный газоструйный | 48 |
Насос вакуумный газоулавливающий | 56 |
Насос вакуумный геттерный | 59 |
Насос вакуумный геттерный испарительный | 60 |
Насос вакуумный геттерно-ионный | 61 |
Насос вакуумный двухроторный | 40 |
Насос вакуумный диффузионный | 51 |
Насос вакуумный диффузионно-эжекторный | 52 |
Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся | 53 |
Насос вакуумный диффузионный фракционный | 54 |
Насос вакуумный жидкостно-кольцевой | 39 |
Насос вакуумный жидкостно-струйный | 47 |
Насос вакуумный ионный | 55 |
Насос вакуумный испарительно-ионный | 62 |
Насос вакуумный кинетический | 42 |
Насос вакуумный комбинированный | 66 |
Насос вакуумный конденсационный | 64 |
Насос вакуумный магнитный электроразрядный | 63 |
Насос вакуумный механический | 29 |
Насос вакуумный объемного действия | 30 |
Насос вакуумный пароструйный | 49 |
Насос вакуумный пластинчато-роторный | 36 |
Насос вакуумный пластинчато-статорный | 37 |
Насос вакуумный плунжерный | 38 |
Насос вакуумный поршневой | 31 |
Насос вакуумный предварительного разрежения | 27 |
Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением | 32 |
Насос вакуумный с сухим уплотнением | 34 |
Насос вакуумный сорбционный | 57 |
Насос вакуумный струйный | 46 |
Насос вакуумный трохоидный | 41 |
Насос вакуумный эжекторный | 50 |
Насос высоковакуумный | 24 |
Насос низковакуумный | 23 |
Насос форвакуумный | 25 |
Натекатель вакуумный | 16 |
Преобразователь давления измерительный | 82 |
Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая | 76 |
Пост откачной | 8 |
Система вакуумная | 5 |
Сосуд откачиваемый вакуумный | 9 |
Степень вакуума | 3 |
Степень сжатия вакуумного насоса | 78 |
Техника вакуумная | 2 |
Трубопровод байпасный | 20 |
Трубопровод вакуумный | 18 |
Трубопровод форвакуумный | 19 |
Турбонасос вакуумный | 43 |
Турбонасос вакуумный осевой | 44 |
Турбонасос вакуумный центробежный | 45 |
Установка вакуумная | 6 |
Устройство вакуумметра отсчетное | 84 |
Устройство защитное вакуумное | 21 |
Чувствительность | 109 |
Чувствительность вакуумметра относительная | 110 |
Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная | 111 |
Элемент вакуумной системы | 10 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ
Absolutes Vakuummeter | 80 |
Adsorptionspumpe | 58 |
| 84 |
Axialische Turbovakuumpumpe | 44 |
Beluftungsvakuumventil | 15 |
Betriebs und | 83 |
Boostervakuumpumpe | 26 |
Dampfstrahlvakuumpumpe | 49 |
Differenzdruckvakuummeter | 81 |
Diffusionsjekterpumpe | 52 |
Diffusionsvakuumpumpe | 51 |
Drehkolbenvakuumpumpe | 37 |
Drehschiebervakuumpumpe | 36 |
Druckausgleichskolben | 22 |
Druckmessunformer | 82 |
Druckwaage | 91 |
Elektronenionisations Vakuummeter | 101 |
Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor | 102 |
Empfindlichkeit | 109 |
Enddruck einer Vakuumpumpe | 75 |
Endvakuumpumpe | 24 |
Falle | 12 |
Federelastisches Vakuummeter | 89 |
| 39 |
| 47 |
| 86 |
Fraktionierende | 54 |
Gasballastvakuumpumpe | 33 |
Gasbindende Vakuumpumpe | 56 |
Gasstrahlvakuumpumpe | 48 |
Gastransfervakuumpumpe | 28 |
Gettervakuumpumpe | 59 |
Grobvakuumpumpe | 23 |
| 105 |
Hubkolbenvakuumpumpe | 31 |
lonengettervakuumpumpe | 61 |
lonentransferpumpe | 55 |
lonenverdampfervakuumpumpe | 62 |
| 63 |
| 99 |
lonisationsvakuummeter | 97 |
lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System | 103 |
lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle | 98 |
lonisierungsfalle | 69 |
Kinetische Vakuumpumpe | 42 |
Kompressionsvakuummeter | 88 |
| 78 |
Kondensationspumpe | 64 |
Kreiskolbenvakuumpumpe | 41 |
Kryovakuumpumpe | 65 |
| 67 |
Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode | 104 |
Massenspektrometer | 107 |
Maximal | 76 |
Maximal | 73 |
Maximaler Arbeitsdruck | 74 |
Membranvakuummeter | 90 |
| 108 |
Molekularvakuummeter | 96 |
Nadelvakuumventil | 16 |
| 32 |
Partialdruckvakuummeter | 106 |
Penningvakuummeter | 100 |
| 71 |
Pumpstand | 8 |
Radialische Turbovakuumpumpe | 45 |
Reibungsvakuummeter | 92 |
Relative Vakuummeterempfundlichkeit | 110 |
Rotationsvakuumpumpe | 29 |
| 35 |
| 70 |
Selbstreinigende | 53 |
Sorptionsfalle | 68 |
Sorptionspumpe | 57 |
Sperrschiebervakuumpumpe | 38 |
Startdruck | 72 |
Stickstoffaquivalentdruck | 112 |
Sublimationsgettervakuumpumpe | 60 |
Thermistor-Vakuummeter | 95 |
Thermokreuz | 94 |
Totaldruckvakuummeter | 85 |
Treibmittelstrachlvakuumpumpe | 50 |
Treibmittelvakuumpumpe | 46 |
Trockenlaufende Vakuumpumpe | 34 |
Turbovakuumpumpe | 43 |
U-leitung Vakuummeter | 87 |
Umwegleitung | 20 |
Untergrunddruck | 113 |
Vakuum | 1 |
Vakuumanlage | 6 |
Vakuumbereiche | 3 |
| 17 |
Vakuumeinheit | 7 |
Vakuumkamer | 9 |
Vakuummeter | 79 |
Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters | 111 |
Vakuumpumpe | 11 |
| 4 |
Vakuumpumpkombination | 66 |
Vakuumrohrleitung | 18 |
Vakuumschlensenventil | 14 |
Vakuumsicherheitsvorrichtung | 21 |
Vakuumsystem | 5 |
Vakuumsystemselement | 10 |
Vakuumtechnik | 2 |
Vakuumventil | 13 |
| 30 |
Vorpumpenrohrleitung | 19 |
Vorvakuumpumpe | 25, 27 |
| 40 |
| 93 |
| 77 |
eines 
eines 
Wasserdampf 
Vorvakuumdruck
(flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ
Absolute vacuum gauge | 80 |
Admittance vacuum valve | 15 |
Adsorption vacuum pump | 58 |
Air admittance vacuum valve | 16 |
Axial flow turbine vacuum pump | 44 |
Background pressure | 113 |
Backing line | 19 |
Backing vacuum pump | 25 |
Booster vacuum pump | 26 |
Bypass line | 20 |
Cold cathode magnetron gauge | 104 |
Cold trap | 67 |
Combined vacuum pump | 66 |
Compression gauge | 88 |
Compression ratio | 78 |
Condenserpump | 64 |
Cryopump | 65 |
Diaphragm gauge | 90 |
Differential vacuum gauge | 81 |
Diffusion-ejector pump | 52 |
Diffusion pump | 51 |
Discharge tube indicator | 105 |
Dry-sealed vacuum pump | 34 |
Ejector vacuum pump | 50 |
Elastic element gauge | 89 |
Electronic type ionization vacuum | 101 |
Element of vacuum system | 10 |
Entrapment vacuum pump | 56 |
Equal vessel | 22 |
Equivalent nitrogen pressure | 112 |
Extractor gauge | 103 |
Fractionating diffusion pump | 54 |
Gas ballast vacuum pump | 33 |
Gas jet vacuum pump | 48 |
Gauge control unit | 83 |
Gauge indicating unit | 84 |
Gauge pressure transducer | 82 |
Getter ion vacuum pump | 61 |
Getter vacuum pump | 59 |
High vacuum pump | 24 |
Ion transfer vacuum pump | 55 |
Ion trap | 69 |
Ionization gauge coefficient | 111 |
Ionization vacuum gauge | 97 |
Jet kinetic vacuum pump | 46 |
Kinetic vacuum pump | 42 |
Liquid jet vacuum pump | 47 |
Liquid level manometer | 86 |
Liquid ring vacuum pump | 39 |
Mass spectrometer | 107 |
Maximum backing pressure | 73 |
Maximum rate of handling water vapour | 76 |
Maximum tolerable water vapour inlet pressure | 77 |
Maximum working pressure | 74 |
Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump | 32 |
Partial pressure vacuum gauge | 106 |
Penning gauge | 100 |
Piston vacuum pump | 31 |
Positive displacement vacuum pump | 30 |
Pressure balance | 91 |
Pressure range | 108 |
Pumped container | 9 |
Pumping rate | 70 |
Pumping station | 8 |
Pump for gas transporting | 28 |
Radial flow turbine vacuum pump | 45 |
Radioactive ionization gauge | 98 |
Ranges of vacuum | 3 |
Relative sensitivity factor | 110 |
Roots vacuum pump | 40 |
Rotary piston vacuum pump | 37 |
Rotary plunger vacuum pump | 38 |
Rotary vacuum pump | 35 |
Rough vacuum pump | 23 |
Roughing vacuum pump | 27 |
Self purifying diffusion pump | 53 |
Sensitivity | 109 |
Sliding vane rotary vacuum pump | 36 |
Sorption trap | 68 |
Sorption vacuum pump | 57 |
Sputter ion gauge | 99 |
Sputter ion pump | 63 |
Starting pressure | 72 |
Sublimation ion vacuum pump | 62 |
Sublimation vacuum pump | 60 |
Thermal conductivity gauge | 93 |
Thermistor gauge | 95 |
Thermocouple gauge | 94 |
Thermo-molecular gauge | 96 |
Total pressure vacuum gauge | 85 |
Trap | 12 |
Trochoid pump | 41 |
Turbine vacuum pump | 43 |
Twin-wire oscillator gauge | 102 |
Ultimate pressure of vacuum pump | 75 |
U-tube vacuum gauge | 87 |
Vacuum | 1 |
Vacuum feedthrough | 17 |
Vacuum gate valve | 14 |
Vacuum mechanical pump | 29 |
Vacuum pipework | 18 |
Vacuum plant | 6 |
Vacuum protective device | 21 |
Vacuum pump | 11 |
Vacuum pump oil | 4 |
Vacuum system | 5 |
Vacuum technology | 2 |
Vacuum unit | 7 |
Vacuum valve | 13 |
Vacuummeter | 79 |
Vapour jet vacuum pump | 49 |
Viscosity gauge | 92 |
Volume flow rate of vacuum pump | 71 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА ФРАНЦУЗСКОМ ЯЗЫКЕ
Analyseur de pressions partielles | 106 |
Avec unetube en U- | 87 |
Ballon | 22 |
| 76 |
Coefficient d'un | 111 |
Coffret d'alimentation et de mesure | 83 |
Conduite bypass | 20 |
Conduite | 18 |
Conduite | 19 |
| 71 |
| 70 |
| 43 |
| 44 |
| 45 |
| 40 |
Dispositif de | 21 |
Dispositif indicateur | 84 |
Domaines de vide | 3 |
Ejecteur | 48 |
Ejecteur | 49 |
Element du | 10 |
Enceinte | 9 |
Etendue de mesurage | 108 |
Facteur de | 110 |
Huile de pompe | 4 |
Installation de vide | 6 |
| 88 |
| 93 |
| 89 |
| 81 |
| 102 |
| 103 |
| 97 |
| 101 |
| 86 |
| 90 |
| 91 |
| 98 |
| 95 |
| 94 |
| 79 |
| 92 |
| 80 |
| 100 |
| 85 |
| 81 |
| 99 |
| 104 |
| 96 |
Passage du vide | 17 |
12 | |
| 68 |
| 69 |
| 67 |
Pompe | 51 |
Pompe | 53 |
Pompe | 52 |
Pompe | 54 |
Pompe | 55 |
Pompe | 11 |
Pompe | 39, 47 |
Pompe | 32 |
Pompe | 50 |
Pompe | 56 |
Pompe | 58 |
Pompe | 33 |
Pompe | 46 |
Pompe | 36 |
Pompe | 31 |
Pompe | 38 |
Pompe | 37 |
Pompe | 59 |
Pompe | 57 |
Pompe | 60 |
Pompe | 42 |
Pompe | 66 |
Pompe | 28 |
Pompe | 26 |
Pompe | 61 |
Pompe | 62 |
Pompe | 23 |
Pompe | 34 |
Pompe | 24 |
Pompe | 35 |
Pompe | 30 |
Pompe condenser | 64 |
Pompe cryostatique | 65 |
Pompe ionique | 63 |
Pompe | 29 |
Pompe | 27 |
Pompe primaire pour Ie vide | 25 |
Pompe trochoide | 41 |
Pression d'amorcage | 72 |
Pression | 112 |
Pression maximale de fonctionnement | 74 |
Pression maximale de refoulement | 73 |
Pression limite d'une pompe | 75 |
Pression maximale | 77 |
Pression residuelle | 113 |
Robinet | 16 |
Robinet | 15 |
| 109 |
Soupape de vide | 13 |
| 107 |
Stand de pompage | 8 |
| 5 |
Taux de compression | 78 |
Technique du vide | 2 |
Transducteur de mesure pression | 82 |
Tube | 105 |
| 7 |
| 14 |
Vide | 1 |
de pression
de pompage de vapeur d'eau admissible 
ionisation
d'une pompe 
turbine
turbine 
turbine 
roots
vide
relative
compression 
conduction thermique 
differentiel
oscillants
extracteur
ionisation
ionisation 
liquide
membrane
piston
source radioactive
thermistance
thermocouple 
vide
absolu
de Penning
de 
totale
ionique 
cathode froide
thermomoleculaire
sorption
vide
pour Ie vide
d'azote
d'aspiration de vapeur d'eau
d'air 
de masse
vide
vide
ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Справочное
ТЕРМИНЫ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ
Термин | Определение |
1. Газ | Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство.
1. Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов. 2. В вакуумной технике этот термин применяют к неконденсирующемуся газу и к пару |
2. Неконденсирующийся газ | Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления |
3. Идеальный газ | |
4. Парциальное давление газа | Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры |
5. Полное давление газа | Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси. Примечание. Термин применяют, если термин "Давление" четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой |
6. Давление газа на ограничивающую поверхность | Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности. Примечание. 1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока. 2. Термин "Давление" без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении |
7. Давление в определенной точке газового пространства | Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки. Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока |
8. Количество газа | Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление |
9. Пар | Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения |
10. Насыщенный пар | Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества |
11. Давление насыщенного пара | Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз |
12. Ненасыщенный пар | Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре |
13. Степень насыщения пара | Отношение давления пара к давлению насыщенного пара |
14. Молекулярная концентрация | Число молекул газа в единице объема |
15. Молекулярная концентрация заданного компонента | Число молекул заданного компонента в единице объема |
16. Плотность газа | Масса единицы объема газа |
17. Плотность газа, приведенная к единице давления | Плотность газа, деленная на его давление |
18. Длина свободного пути молекул | Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами |
19. Средняя длина свободного пути молекулы | Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул |
20. Число столкновений молекул в единицу времени | Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул |
21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени | - |
22. Диффузия газа | Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации. Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза |
23. Коэффициент диффузии газа | |
24. Течение газа | Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах |
25. Ламинарное течение | |
26. Турбулентное течение | |
27. Вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа. Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным |
28. Пуазейлевское течение | Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения |
29. Молекулярное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода |
30. Молекулярно-вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением |
31. Эффузионное течение | Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул |
32. Температурная транспирация | Течение газа между соединенными сосудами вследствие разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений |
33. Поток молекул | Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени |
34. Результирующий поток молекул | Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении |
35. Плотность потока молекул | Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает |
36. Массовый поток газа | Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
37. Объемный поток газа | Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
38. Молярный поток газа | Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
39. Распределение Максвелла по скоростям | Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла-Больцмана. Примечание. Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул |
40. Вероятность прохождения | Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении |
41. Проводимость элемента вакуумной системы | Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия |
42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах. Примечание. В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения |
43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала |
44. Сопротивление элемента вакуумной системы | Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы |
45. Сорбция | Захват газа или пара твердым телом или жидкостью |
46. Адсорбция | Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости |
47. Абсорбция | Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости |
48. Физическая сорбция | Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи |
49. Хемосорбция | Сорбция, при которой происходит образование химических связей |
50. Коэффициент аккомодации | Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия |
51. Частота столкновений | Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени |
52. Скорость конденсации | Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени |
53. Скорость прилипания | Число молекул, сорбируюшихся на единице площади поверхности в единицу времени |
54. Вероятность прилипания | Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений |
55. Время удержания | Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции |
56. Миграция | Движение молекул на поверхности |
57. Десорбция | Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом |
58. Скорость десорбции | Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени |
59. Скорость испарения | Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени |
60. Просачивание | Процесс прохождения газа через твердый барьер. Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления |
61. Проницаемость твердой перегородки | Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки |
62. Коэффициент проницаемости газа | Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади |
63. Условный проход | Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам |
64. Манометр | |
65. Откачка | Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ |
66. Газовыделение | Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум |
67. Обезгаживание | Принудительное удаление газа из материала |
68. Обратная диффузия | Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки |
69. Обратная миграция | Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки |
70. Рабочее вещество | Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах |
71. Радиочастотный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле |
72. Квадрупольный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами |
73. Монополярный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов |
74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением | Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям |
75. Циклоидальный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду |
76. Омегатронный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу |
77. Времяпролетный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду |
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ
ГОСТ 5197-85 СТ СЭВ 4839-84 И СТ СЭВ 4751-84
Термин по ГОСТ 5197-85 | Термин по СТ СЭВ 4839-84, |
Вакуумная ловушка | Ловушка |
Вакуумное защитное устройство | Устройство задержки газового потока |
Бустерный вакуумный насос | Бустерный насос |
Вакуумный насос предварительного разрежения | Насос предварительного разрежения |
Трохоидный вакуумный насос | Трохоидальный вакуумный насос |
Струйный вакуумный насос | Струйный кинетический вакуумный насос |
Газоструйный вакуумный насос | Газоэжекторный вакуумный насос |
Пароструйный вакуумный насос | Пароэжекторный вакуумный насос |
Вакуумный крионасос | Криогенный вакуумный насос |
Испарительный геттерный вакуумный насос | Сублимационный вакуумный насос |
Рабочее вещество | Откачивающий элемент |
Конденсационная вакуумная ловушка | Конденсационная охлаждаемая ловушка |
Сорбционная вакуумная ловушка | Сорбционная ловушка |
Ионная вакуумная ловушка | Ионная ловушка |
Быстрота откачки | Быстрота откачки вакуумного насоса |
Молекулярная концентрация заданного компонента | Концентрация молекул заданного компонента |
Число столкновений в единице объема за единицу времени | Объемное число столкновений в единицу времени |
Полное давление газа | Полное давление |
Парциальное давление газа | Парциальное давление |
Массовый поток газа | Массовый расход газа |
Объемный поток газа | Объемный расход газа |
Молярный поток газа | Молярный расход газа |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Физическая сорбция | Физисорбция |
Средняя длина свободного пути молекул | Средняя длина свободного пробега молекул |
Проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость |
Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Внутренняя проводимость |
Сопротивление элемента вакуумной системы | Сопротивление |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Коэффициент проницаемости газа | Коэффициент проницаемости |
Наибольшее давление запуска вакуумного насоса | Наибольшее давление запуска вакуумного насоса (начальное давление) |
Предельное остаточное давление вакуумного насоса | Предельное давление вакуумного насоса |
Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды | Производительность вакуумного насоса по водяному пару |
Наибольшее допустимое давление паров воды | Максимально допустимое впускное давление водяного пара |
Электронный текст документа
и сверен по:
М.: Издательство стандартов, 1986
